光电子能谱XPS制样基本操作（图文）

之前做了一些XPS的图文和视频，xps是材料表征的重要仪器，今天我们介绍如何制样：

1.样品台，上面的是UPS样品台，下面的是普通Xps样品台，如果需要测试UPS，只能用上面的样品台，测试XPS的话两者都可，如果测角分辨，有专门的角分辨样品台，双面胶黏在样品台，测xps用绝缘胶即可，方便观测，如果测UPS,采用导电胶；

2.对于有磁性的样品，一般不可直接进行测试，需要用退磁器进行消磁，判断样品有没有磁性，可以通过图钉靠近样品判断；

对于磁透镜模式的仪器，样品有磁性或者是无磁性的铁磁性样品均会因为磁场改变影响接收效率，样品很少时影响不大，可忽略；使用静电模式的仪器，只要样品没有磁性就可以。所以对于磁性样品，测试时一定要进行消磁处理，并且用可靠的方式固定，样品体积要尽可能小，体积较大的铁磁性样品只能采用静电模式；

3.固定粉末样品需要用到锡箔纸，选择正面使用，用双面胶（xps测试用绝缘胶即可，便宜且透明，样品容易观测，如果需要测UPS，尽量采用导电胶）黏在锡箔纸正面，然后裁剪出合适的大小，将样品平铺在双面胶上，用压片机压片，然后用洗耳球吹掉没有固定的粉末，继续剪裁合适的尺寸黏在样品台上；

4.如果是薄膜或块状样品，直接用双面胶黏在样品台即可，请注意所有样品的高度尽量一致，否则测试时对焦会出问题，如果样品很高，需要对样品台高度进行调节，不能高于样品台规定的高度；

5.对于UPS样品，一般适用于导电性好的薄膜或者块状样品，如果粉末样品需要测试功函数，最好用x射线来测，且导电性也要保证，通常通过铜夹固定的方式连接样品，用万用表确认导电性良好；

绝缘胶

导电胶

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